主要真空泵有哪几类？其工作压强范围在什么区间

参考答案：

• 按真空度：高真空泵、中真空泵、粗真空泵。

• 按润滑介质; 油式真空泵、无油真空泵。

• 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
  由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。以下是各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值
     真空泵种类   工作压强范围(Pa)    起动压强(Pa)
     活塞式真空泵 1×105～1.3×102       1×105
     旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1      1×105
     水环式真空泵 1×105—2.7×103       1×105
     涡轮分子泵   1.3—1.3×10-5         1.3
     罗茨真空泵   1.3×103—1.3          1.3×103
     水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10-1      1×105
     油扩散泵     1.3×10-2—1.3×10-7   1.3×10
     油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10-2     1.3×105
     分子筛吸附泵 1×105—1.3×10-1      1×105
     溅射离子泵   1.3×10-3—1.3×10-9   6.7×10-1
     钛升华泵     1.3×10-2—1.3×10-9   1.3×10-2
     锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10-11    1.3×10
     低温泵       1.3—1.3×10-11        1.3—1.3×10-1