机械泵,扩散泵,及真空泵之间是什么关系?急需答案!谢谢

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机械泵,扩散泵都是真空泵.机械泵能达到的真空度较底,一般在10的负4次方托左右.扩散泵能达到的真空度较高,可达10的负8次方托或更高.扩散泵一般需要机械泵作前级,在达到一定真空度后才可启动.