等离子体刻蚀和LPCVD 真空泵常用那种类型？

等离子体刻蚀和LPCVD 真空泵常用那种类型？泵体中所含有毒有害废气有哪些？

参考答案：

传统采用的一般是水环式真空泵和旋片式真空泵，水环真空泵对气体介质要求低，但是体积较大，效率低且维护量大。渐渐的在光伏光电子行业已经淡出。旋片真空泵体积小，造价很低，但是运行不稳定，会带来油污污染，且存在明显机械摩擦，叶片损坏较快，气量衰减快。近年有很多实力强的企业已经开始采用一些品质好的螺杆真空泵代替传统真空泵，螺杆真空泵运行较稳定，系统内有油污处理设备，维护周期长。缺点是国内的螺杆真空泵厂家质量还不过硬，国外产品价格较高，一次投资大。所以新建企业由于投资问题都选用便宜的旋片真空泵，在投产形成利润后很多渐渐选用螺杆真空泵进行技改。

参考答案二：

泵体中一般不会有有毒有害的物质，是你工序里来的。 一般用进口真空泵，TAIKO的不错。

参考答案三：

按理说是分子泵吧。
　　在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置，都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。
这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。

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参考答案四：

按理说是分子泵吧。
　　在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置，都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。
这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。

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