真空泵的基本内容
1定义
真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。
解释:
真空泵的工作原理：机械、物理、化学。
真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。
真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。
真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法或用途。
粗低真空
●食品行业
●化工行业
●冷冻干燥
●轻工行业
●制药行业
●导电(真空放电灯具)
高真空
●冶炼
●真空热处理、真空焊接
●集成电路、半导体制造
●各种镀膜工艺
●各种表面加工工艺
●化学研究
●离子注入
●隔离作用(绝热)
超高真空
●空间模拟
●材料科学分析
●物理现象研究
●表面分析
●高纯材料制备(如:MBE)
2 真空系统的基本组成
1真空室
2高真空泵(主泵)
3预抽泵
3a前级泵
4高真空阀门
5低真空阀门
6前级管道
7放气阀
8低真空计
9高真空计
3抽速特性曲线
4真空条件下气体的流动特点
5.真空泵的类型（按真空获得的方法）
6.真空泵的类型(按真空泵用途)
主泵(Main pump):在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵;
粗抽泵(Roughing vacuum pump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵;
前级泵(Backing vacuum pump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵;
维持泵(Holding vacuum pump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度;
粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵;
高真空泵(High vacuum pump):在高真空范围工作的真空泵;
超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump):在超高真空范围工作的真空泵;
增压真空泵(Booster vacuum pump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。
8.机械真空泵
凡是利用机械运动(转动或滑动)来获得真空的泵，称为机械真空泵。
变容真空泵(Positive displacement pump) :泵腔容积的周期性变化来完成抽气。
动量传输泵(Kinetic vacuum pump) :依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。
机械真空泵性能参量
抽气速率(Flowrate) :在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。
极限压力(Ultimate pressure) :在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。
启动压力(Stating pressure) :泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。
前级压力(Backing pressure) : 排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。
最大前级压力(Maximum backing pressure) :能使泵损坏的前级压力。
最大工作压力(Maximum working pressure) :对 应最大抽气量的入口压力。
抽气量(Throughout of vacuum pump) :流经泵入口的气体流量。
压缩比(Compression ratio) :泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。
机械真空泵性能参量
几点说明:
实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参量;
真空泵的性能测试必须严格按照相关国家标准规定的项目和测试条件来执行;
性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级;
真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数是不同的;
对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别很大;
真空泵性能和真空系统性能是两个概念。
- 机械真空泵规格及其型号
- 真空泵型号组成：
- 机械真空泵规格及型号
机械真空泵型号示例：
往复泵，抽速35L/s，二次改型；
二级旋片泵，15L/s，一次改型；
单级多旋片真空泵，63m3/h；
三级溅射离子泵，160L/s；
锆铝吸气剂泵，进气口100mm；
变容式机械泵的抽速分档: 0.5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。
6、真空泵的使用范围
