真空系统的组成与设计概述 之 典型真空系统
1.3典型真空系统
真空系统按其工作压力分类,可分为:(1)粗真空系统(工作压力大于1330Pa);(2)低真空系统(工作压力在1330~0.13Pa);(3)高真空系统(工作压力在0.13~1.3×10-5Pa);(4)超高真空系统(工作压力在1.3×10-5~1.3×10-10Pa);（5）极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）
按真空系统所要求的清洁程度分,有:(1)有油真空系统(真空室有油蒸气污染);(2)无油真空系统(真空室无油蒸气污染)。
1.3.1粗真空系统
用粗真空泵为主泵(如水蒸气喷射泵或水环泵)组成真空系统,系统直接在大气压下为被抽容器排气,该系统即为粗真空系统,如图1-14所示。粗真空系统是最简单的真空系统。
图1-14粗真空系统
1—被抽容器; 2一真空表; 3一连接管路; 4一真空阀门; 5—粗真空泵
1.3.2低真空系统
用低真空泵为主泵(如油封式机械泵)组成的真空系统称为低真空系统。通常低真空系统直接在大气压下对被抽容器抽气。
1.3.3中真空系统
中真空系统一般是由两个以上的真空泵串联组成的。
(1)油增压泵串联油封机械泵组成的真空系统,该系统的最佳工作压力范围为1.3~1.3×10-1Pa。其优点是系统简单、抽气能力大、振动小、工作稳定可靠、维修方便。缺点是油增压泵需要预加热,预抽时间比罗茨泵系统长,系统的油蒸气污染较大(2)罗茨泵串联油封机械泵的真空系统,该系统的工作压力范围为1000~1.3Pa。优点是抽气能力大、启动快、预抽时间短。缺点是工作时噪声较大。图1-15所示为这种系统的典型配置。
图1-15离子渗碳及淬火炉的真空系统
1一渗碳室;2一除尘器;3一气动阀;4一罗茨泵;5粗抽阀;6—电磁压差阀;7—前级机械泵;8一维持机械泵
(3)罗茨泵串联小型罗茨泵(中间泵),再串联机械泵的真空系统,系统的工作压力范围为0.133~1333Pa。该系统不但具备了罗茨泵系统的特点,而且加宽了工作压力范围和最佳压缩比。
(4)罗茨泵串联水环泵的真空系统。该系统适合用于排出灰尘或水蒸气较多的设备上。
