PVD设备国产率、需求等规模不断增长 但国际竞争力仍待提升

PVD设备，又称物理气相沉积设备，属于一种薄膜沉积设备。它是PVD技术的载体，主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成，主要应用于集成电路制造、机械模具以及化工等领域。

PVD设备产业链

从全球范围来看，数据显示，近年来，全球PVD设备市场规模稳步增长，到2019年其市场规模已达25.75亿美元，到2025年将达32.51亿美元。

2014-2025年全球PVD设备市场规模变化

从国内范围来看，由于PVD设备的应用对于集成电路制造行业有着不可忽视的作用，我国政府陆续出台了一系列政策扶持PVD设备产业发展。

我国PVD设备相关政策

在政策扶持下，我国PVD设备工艺技术不断取得突破，产品国产化率不断上升。数据显示，我国PVD设备国产化率已由2013年的不到1%上升至2019年的15%。

我国PVD设备国产化率变化情况

与此同时，我国国产PVD设备的投资额与需求规模在近两年也急速上升。数据显示，2020年，在我国内资产线中，国产设备的投资额将从2019年的47亿元提升到80亿元，需求规模将从2019年的2.3亿元提升至5.6亿元。

2019-2020年我国内资产国产PVD设备投资额与需求规模变化

其中，随着中芯国际、华虹系等持续扩产，CuBS-PVD设备未来市场规模可观，或将成为我国PVD设备行业快速发展的新增长点。

我国内资产线CuBS-PVD设备需求预测

但整体来看，目前我国PVD设备部分类型的产品仍暂无生产能力，与海外龙头企业仍存在一定差距。

我国PVD设备行业相关技术进展情况

而从全球PVD设备市场竞争格局来看，也可以反映出目前我国国产PVD设备竞争力仍较低。提升竞争力，加速相关技术研发，是我国PVD设备行业发展的重点任务。数据显示，目前在全球PVD设备市场，AMAT一家独大，约占全球市场份额的80%以上，而我国厂商占比仅为10%左右。

全球PVD设备市场竞争格局

相关行业分析 告参考《2020年中国PVD设备市场调研 告-产业规模现状与投资商机研究》。

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