螺杆泵特点及其他常见中低真空泵比较

真空技术的应用场景非常广泛，真空获得是开展真空应用研究的基础。真空获得设备，顾名思义，用来对密闭容器抽气，营造真空环境的机械设备。真空获得设备按照抽气原理可以分为气体捕集式和气体输送式，其中气体输送式又可以细分为变容式和动量传输式。

现代科学技术不断发展，推陈出新，真空应用范围越来越广，对真空获得设备的要求也越来越高。在传统的油封式机械泵中，泵油在泵腔内可以起到润滑的作用，在泵腔外可以起到密封的作用，但是对真空环境而言，一旦泵油反流到真空环境中就会污染真空腔室，另一方面，真空腔室中的工艺气体也会与泵油发生反应，泵油容易变质，影响真空泵的稳定运行。

特别是在半导体、航空航天、微电子、光伏、微纳加工和真空镀膜等领域，对真空环境和真空的设备要求更高，不仅要求清洁、无油、真空度高，同时还要求真空获得设备运行稳定可靠，节能环保。

干式真空泵在运行时泵腔无油，即在运行时泵腔内部不需要油润滑和密封，所以不会对真空环境造成影响，真空环境清洁度高；不同的干泵有不同的应用场合，一般要求能够及时抽除制造工艺产生的易燃、易爆、腐蚀性、可凝性气体等。

常见的机械干泵有罗茨式、螺杆式、爪式、往复式、涡旋式等。其中螺杆干式真空泵优点显著，螺杆真空泵结构紧凑，泵腔无油，转子与转子之间、转子与泵腔之间没有接触，能够应用于复杂的工作环境，运行可靠，寿命长。

螺杆真空泵是干式真空泵的一种，表1中给出了常见中低真空泵的特性与优缺点，螺杆真空泵具有以下特点：

（1）一般的油封式真空泵在抽真空时，泵油会进入真空室污染真空环境，同时工艺气体也会污染泵油，影响泵的稳定运行，螺杆真空泵是一种干式真空泵，螺杆真空泵运行时转子腔室无油。

（2）适应性强。螺杆真空泵抽速较高，仅由一台螺杆真空泵即可获得较高的真空度，可以从大气压直接抽到 1Pa 以下，不需要与其他泵串联，抽气性能优良，抽速比较稳定，节能高效；对于一些具有腐蚀性的气体，可以在转子表面和泵腔表面进行涂层处理，提高转子和泵体表面性能，同时转子之间留有一定间隙，在运行和组装时也不会对涂层造成破坏。

（3）结构紧凑，可靠性高。螺杆真空泵抽气时由一对螺杆转子同步旋转实现，间隙的存在使转子运行时不会因热膨胀而卡住，同时还可以抽除一些含有粉尘的颗粒性气体和易燃易爆气体。

（4）故障少，易于维修。泵腔内只有一对互相啮合的螺杆转子，工作稳定、安全高效。

（5）气体通路短。气体在泵内输送路径短，对等螺距螺杆转子而言，气体在输送过程中没有压缩，避免了反应物堆积，有利于气体快速排出。