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光接口：诊断真空过程
摘要：对真空过程诊断的要求越来越具有挑战性。一方面，设置本身必须与流程分离，以避免对过程产生任何外部影响。另一方面，工艺参数必须通过真空监测系统进行原位表征和控制。在这两个矛盾要求的附近，光纤应用的影响越来越大，因为光纤具有几个优点：高传输信号、对外部电磁力的固有抗扰性、高耐久性、高机械性能以及光学灵活性。该论文重点论述了一种与高温光纤光学真空引入线相结合的新型真空光学温度传感器。这种基于光纤中的光纤布拉格光栅（FBG）的传感器，对温度变化极为敏感。在第一个案例研究中，演示了FBG结合真空引入线作为真空光学温度传感器的应用。因此，包含多束FBG的光纤就成为了一种本地温度传感器组成的的紧凑、坚固、灵活的真空网络。每个传感器都可以用光速捕获几公里长的信号路径上的温度变化，精度高达0.1 K。
登刊日期：2019年6月11日；
doi.org/10.1002/vipr.201900712
真空应用中的现代质谱仪
登刊日期：2019年6月11日；
doi.org/10.1002/vipr.201900713
现代高压涡轮泵：理论与实践
登刊日期：2019年3月18日
摘要：自上世纪中叶发明涡轮泵以来，其性能已经得到大幅提高。尽管由于几何形状和常规功能而存在局限性，但借助于标准涡轮泵与Holweck级的巧妙组合，过去对离子溅射泵的要求，现今这种组合之后的应用也成为了可能。特别是现代高压缩涡轮泵即使与小而简单的前级泵组合，也适用于产生极高真空。
doi.org/10.1002/vipr.201900698
涡轮分子泵在过去30年的发展
登刊日期：2018年10月10日
doi.org/10.1002/vipr.201800692
