单级旋片泵为什么极限压力不能再低呢?
单级旋片泵一般极限压力只能达到1.3Pa (个别可达0.1Pa),为什么极限压力不能再低呢?
1. 泵的结构上存在有害空间,该空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后,这一部分气体又被压缩,经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间,所以每次总有些气体排不尽。
2. 由于在泵工作时,泵腔的吸气空间与排气空间存在着一定的压力差。当排气空间的气体被压缩得很小时,它的压力很高,会通过各种可能的途径突破到吸气空间去,使泵真空度下降。
3. 泵油在泵体内循环流动过程中会溶解进大量气体和蒸气。在吸气侧,因为压力较低,溶解的气体又会跑出来,使泵的真空度不易提高。
为了提高泵的极限真空度,除了提高泵体、转子、旋片的加工精度,尽量减少装配间隙和有害空间以外,最有效的办法是将两只单级泵串接起来,组成双级泵。
【文献】张以忱.第三讲:机械真空泵(二)[J].真空,1996(01):45-50.
