你了解低真空抽气机组吗？

真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置。其特点是结构紧凑, 安装使用方便。

真空抽气机组可以分为低真空抽气机组、中真空机组、高真空机组、超高真空机组、无油真空机组等 。真空机组的名称以主泵命名 ，如 ：扩散泵机组、分子泵机组等。

低真空抽气机组

低真空抽气机组的工作压力范围约在 1330～100 Pa 之间, 其主要特点是工作压力高、排气量大,但抽速比中、高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气( 钢水处理) 等装置中。

低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵 , 分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等 。一般情况下 , 低真机组中的主泵均能直接排大气。

使用低真空抽气机组 , 还需要根据被抽气体的清洁程度 、湿度或其他特殊要求，配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥或挡油阱等部件。

1.油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施

油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸汽的气体。水蒸汽在压缩过程中会凝结成水滴 , 并与泵油混合形 成悬浮液 , 破坏泵的抽气性能 , 使泵的真空度下降。

一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵, 并使泵的工作温度控制在75～90℃之 间 , 以减少气镇阀负担；在机组中安装水汽分离器或油水分离装置，将混有水的机械泵油进行处理, 处理过的油再进入泵中使用；使用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸汽 ; 使用各种冷凝器或冷阱, 不仅能有效地吸附水蒸汽 ,同时还可阻挡机械泵的油蒸汽向真空室的返流。

2.常用低真空机组型式

图1为油封机械泵低真空机组, 图2为油封机械泵加上挡油阱的抽气机组 , 适用于化学气相沉积装置、真空包装、医药工业等领域。

图1 油封机械泵低真空机组

图2 有挡油阱的低真空机组

图3为由双级水环泵和大气喷射泵串联组成的低真空机组，机组的极限压力为 1300 Pa。工作时 , 先开动水环泵 ，以获得大气喷射泵所需的预真空 , 使大气喷射泵的进气口与出气口之间有压力差, 大气便通过喷射进入泵内形成高速运动气流，将被抽气体吸入，经 扩压器到前级被水环泵排走。

图3 双级水环泵 — 大气喷射泵机组

该机组适用于真空蒸发、真空浓缩、真空浸渍、真空干燥、真空冷冻等工艺过程。