多级罗茨泵噪声机理
罗茨真空泵（以下简称罗茨泵）是一种抽速大、起动快、体积小、运行和维护方便，在航空航天、电器、化工、医药、轻工等各领域得到广泛应用的真空泵。它有四种类型：普通罗茨泵、气冷式罗茨泵、多级罗茨泵和湿式罗茨泵。
在半导体、电子工业为代表的制造工艺中，迫切要求无污染的真空度较高的清洁真空，气冷式罗茨泵正好满足这个要求。气冷式罗茨泵的单级真空度太低，大多采用多级串联或与其它泵组成机组，我们这里所叙述的是多级气冷式罗茨转子，串联在同一根轴上所组成的多级罗茨泵。
多级罗茨泵的噪声机理与气冷式罗茨泵相似，但由于级数较多，一般为五级。每一级承受的压差就小一些，发热量也就少多了，再说多级罗茨泵抽速都不大，所以没有必要再设置返冷气装置，因此多级罗茨泵只是使用了气冷式罗茨泵的转子型线。
多级罗茨泵的工作特点也是极限压力下噪声最大，虽然一般多级罗茨泵的抽速都不大，但由于“声波堆集”作用，泵的噪声仍然较大。
普通罗茨泵的噪声是本体噪声，没有排气噪声。气冷式罗茨泵、多级罗茨泵和湿式罗茨泵的排气噪声很大，完全掩盖了它们的本体噪声，此外气冷式罗茨泵还有进气噪声。
它们的噪声机理既有共性又有不同，其中气冷式罗茨泵的排气噪声机理研究尚未见 导，我们的噪声机理分析，仅是初步探讨不一定正确。
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