带你了解变螺距螺杆真空泵
螺杆真空泵是干式真空泵的一种，其工作原理是利用一对同步高速反向旋转的螺杆转子进行抽气。抽气过程可分为吸气过程、输送过程、压缩过程和排气过程。
螺杆真空泵除了拥有干式真空泵的优点，还有结构紧凑、气体通路短、多相混输等独特的优点。图1为螺杆真空泵的结构图。
图1 螺杆真空泵结构图
随着社会和生产的进步，对清洁的真空环境要求越来越高，螺杆真空泵得到了越大越广泛的应用，除了在液晶屏显示器制造业、半导体工业，在核工业、电子科技、医学制药、化工工业、食品加工等领域也发挥着相当重要的作用。
螺杆真空泵可分为等螺距螺杆真空泵和变螺距螺杆真空泵。等螺距螺杆真空泵与变螺距螺杆真空泵的区别在于：等螺距螺杆真空泵转子的端面型线在展开时，导程保持不变，无内压缩排气方式；变螺距螺杆真空泵转子的端面型线在展开时，导程发生变化，存在内压缩的排气方式。
变螺距螺杆真空泵与等螺距螺杆真空泵相比，对发生在排气口的喘振有抑制作用，使泵的工作更趋平稳，并能降低振动与噪声，具有功耗小、温升低的优点。
在变螺距螺杆真空泵的整体结构中，最为重要的结构部件为变螺距转子。变螺距转子按螺距变化方式可以分为三种类型，分别为三段式结构、二段式结构、和一段式结构。
其中三段式结构是指存在三段螺距变化，第一段螺距变化为等螺距，第二段螺距变化为渐变式螺距，第三段螺距变化为等螺距，一般情况进气端的螺距值最大，排气端的螺距值最小。
二段式结构由两段不同螺距组合而成，第一段为螺距值为a的等螺距，第二段为螺距值为b的等螺距，其中a＞b。
一段式结构是由一段渐变螺距构成，从进气端至排气端螺距值依次减小。图2为三种类型变螺距螺杆真空泵转子的结构示意图。
(a) 三段式转子结构
(b) 二段式转子结构
(c) 一段式转子结构
图2 三种类型变螺距螺杆真空泵转子
