氢氟酸HF自动供液系统-华林科纳

设备名称

华林科纳CSE-氢氟酸(HF）供液系统

设备型号

CSE-CDS-N2601

设计基准

1.供液系统(Chemica1 Dispense System System）简称:cDs

2. CDs将设豆于化学房内:酸碱溶液CDS系统要求放豆防腐性的化学房:

3．设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T板材，内部管路及组件采PFA 451 H材质;

4．系统为采以化学原液双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump方式运送到制程使用点:

5．过滤器:配有10”PFA材质过滤器外壳;

6．供液泵:每种化学液体配有两台或者一台PTFE材质的进口隔膜泵:

7.Empty sensor & Leve1 sensor:

酸碱类采用一般型静电容近接开关;

8．所有化学品柜、歧管箱及阀箱均捉供泄漏侦测器与警 功能-

CDS系统设备规格

1.系统主要功能概述

设备主要功能:每种化学液体配两个桶（自动切换）、配两台泵(一用一备〕、带过滤器:

系统控制单元:配带OMRON 8”形色触摸屏，OMRON品牌PLC系统:

2.操作模式:

cDS系统皆有FLC作Unit内部流程控制，操作介面以流程方式执行.

兼具自动化与亲和力.

在自动模式偕形下可自行达成供酸之功能-

在手动模式及维修模式底下可针对单一自动元件操作.

3.设备结构:

(1）机架(Frame):盘底SUS方管50x50x1.5T与机体以sUS方管38x38x1.5T方管．全周焊鲲构而成．具有调整脚座.

(2）外观:酸碱类系统的外观以WPF被覆.

(3)箱体

(一)箱体材质型式

供腐蚀性化学品用之材质为WPP;透明PVc.

(二)阀体材质型式

.供腐蚀性化学品用之材质为PFA或PTFE.

( 三)泄洞侦测型式

采静电容式或光电式，须能耐酸殓之浸泡.

(四)分流箱(VMB)必耍设施说明

箱体外部须清楚标示其所输送化学品之名称与化学式.

4．设备内部空间规划:

(1）配管区:管路流程整齐清楚，操作方便．具有防止喷溅及承接并排放泄洞功能。

(2）电控区:完全密封，可防止酸气侵蚀电接元件.

(3）取样区:取样方便只有防止酸液喷溅及排放泄洞功能-

(4）桶槽区:方便更换桶槽．，并有链条防止桶槽滑动，有正压及排气功能．保持区域内之洁净度，下方有排放泄洞功能-

5.电控系统︰

(1）空间规划︰完全与酸气隔离的独立空间并有N2 Purge功能．从后方有宽大维修空间.

(2）重要元件︰

PLC: OMRON

GP: 10” OMRONTouch

Empty Sensor & Leve1 sensor:采用静电容近接开关

6.附属滋宜:

(1）排气滋豆∶每一个Unit皆配备排气装且(2）每一个Unit皆配备一组DIW GUN.

7．安全保护装宜:

(1）洞电断电断路保护装宜

(2）机台底部洞液检知装豆

(3）电按箱正压装豆

(4）E.M.o.滋景

8.适用条件:

所有设备均应满足以下条件;

装豆场所:室内.

标高:海平面1000公尺以下-

环境温度:最高30℃，最低0℃，平均30℃.

相对湿度:最大90 %.