研磨液自动供液系统

设备名称

南通华林科纳CSE-研磨液自动供液系统.

设备型号

CSE-CDS-N2601

设计基准

1.供液系统(Chemical Dispense System System) 简称: CDS .

2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;

3.设备材质说明(酸碱类) :酸碱溶液CDS外构采用WPP 10T 板材，内部管路及组件采PFA

451 HP材质;

4.系统为采以化学原液双桶/单桶20L、 200L、1t等方式以Pump方式运送到制程使用

点;

5.过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;

6.供液泵:每种化学液体配有两台或者一台PTFE材质的进口隔膜泵;

7. Empty Sensor & Level Sensor :

酸碱类采用-般型静电容近接开关;

8.所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警 功能。

CDS系统设备规格

1. 系统主要功能概述

设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、 配两台泵(一用一备)、 带过滤器;

2.操作模式:

cDS系统皆有PL 作Unit内部流程控制，操作介面以流程方式执行，

兼具自动化与亲和力。

在自动模式情形下可自行达成供酸之功能。

在手动模式及维修模式底下可针对单一自动元件操作。

3.设备结构:

(1)机架(Frame):盘底SUS方管50x50x1. 5T与机体以SUS方管38x38x1. 5T方管，全周焊架

构而成，具有调整脚座。

(2)外观:酸碱类系统的外观以PP为覆。

(3)箱体

(一)箱体材质型式

供腐蚀性化学品用之材质为PP/透明rvC。

(二)阀体材质型式

. 供腐蚀性化学品用之材质为PFA或FTFE。

(三)泄漏侦测型式

采静电容式或光电式，须能耐酸硷之浸泡。

(四)分流箱 (VMDB)必要设施说明

箱体外部须清楚标示其所输送化学品之名称与化学式。

4.设备内部空间规划:

(1)配管区:管路流程整齐清楚，操作方便，具有防止喷溅及承接并排放泄漏功能。

(2)电控区:完全密封，可防止酸气侵蚀电控元件。

(3)取样区:取样方便具有防止酸液喷溅及排放泄漏功能。

(4)桶槽区:方便更换桶槽，并有链条防止桶槽滑动，有正压及排气功能，保持区域内之洁

净度，下方有排放泄漏功能。

5.电控系统:

(1)空间规划:完全与酸气隔离的独立空间并有N2 Purge功能，从后方有宽大维修空间。

(2)重要元件:

PLC: OMRON

GP: 10”OMERON Touch

Empty Sensor & Level Sensor :采用静电容近接开关

6.附属装置:

(1)排气装置:每一个Unit皆备排气装置

(2)每一个Unit皆配备-组DIW GUNT.

7.安全保护装置:

(1)漏电断电断路保护装置

(2)机台底部漏液检测装置

(3)电控箱正压装置

(4) E.M. 0.装置.

8.适用条件

所有设备均应满足以下条件:

装置场所:室内。

标高:海平面1000公尺以下。.

环境温度:最高30°C， 最低0C，平均30C。

相对湿度:最大90 %。